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OUR PRODUCTS
Pre Plasma System
권선 유도 방식의 한계를 극복한
특허받은 안테나 설계기술과 전력제어 기술의 조합
2023년 MST 풍부한 현장 경험과 EN2CORE
기술을 활용한 업무 협력 체결!
| Technical Specifications | ULTRA-PPS | ||
|---|---|---|---|
| Max. Power | 12 kW | ||
| Operating Frequency | 1.5 MHz | ||
| Ignition Gas Supply | < 1.5 Torr @ N₂ < 70slm | ||
Operation Gas Supply (Can be customizing according to process conditions) | < 1.5 Torr @ N₂ < 70slm, O₂ < 8slm (Optional gas inlet can be customized) | ||
| Power control | ≤ ±1% of Max. Power | ||
| Applicator | Meterial(Optional) : Quarts,AIN,Al₂O₃ Tube Size : 200 mm (Outer diameter), 10 mm thickness | ||
| Monitoring outputs | Ready, AC line, Plasma On, Power Monitor (optional) | ||
| Duty Cycle | 100% | ||
| Interlocks | Internal thermal switch Internal water flow switch to protect against insufficient cooling Internal water leak Over current limit Over RF power limit Over operation time | ||
| Wetted Materials | Perfluoro (FFKM) O-ring, Quartz Tube, SUS316 | ||
| Control Interface | Discrete I/O, 9 and 25 pin D connectors, RS-232, EtherCAT (optional) | ||
| Power Requirements | 208VAC, 50/60 Hz, 60Arms, 3phase | ||
| Cooling Water | Water Flow : 12 lpm (min), 14 lpm (recommended) Pressure at Water Inlet : < 6 bar Water Temperature : < 30 ℃ | ||
| Mounting flange type(foreline) | ISO-200A claw clamp style | ||
| Product Dimension | 458.7 mm x 450 mm x 600 mm (DxWxH) | ||
| Weight | 61 kg |
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